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吉大段羽AOM:分子层沉积用于超薄金属电极的结

通常惰性超薄金属如Au,Ag的沉积遵循沃尔默-韦伯生长模式岛状生长,成核阶段产生的缺陷会显著降低沉积薄膜的透过率,电导率和机械寿命。活性金属材

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